Analýza výrobních technologií v polovodičovém průmyslu

Johanidesová, Eva

Analýza výrobních technologií v polovodičovém průmyslu

DSpace Repository

Language: English čeština

Analýza výrobních technologií v polovodičovém průmyslu

dc.contributor.advisor	Vašek, Vladimír
dc.contributor.author	Johanidesová, Eva
dc.date.accessioned	2013-10-14T10:54:08Z
dc.date.available	2013-10-14T10:54:08Z
dc.date.issued	2013-02-24
dc.identifier	Elektronický archiv Knihovny UTB	cs
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/10563/25433
dc.description.abstract	Diplomová práce popisuje AFM, SMM mikroskopii, jejich funkce a konkurenční mikroskopii SEM. V této práci jsou ukázky a analýzy křemíkových desek, které jsou dodány od firmy ON SEMICONDUCTOR. Tato práce se zabývá koncentracemi příměsi dopantů a porovnáním výsledků s konkurenčními metodami měření.	cs
dc.format	57	cs
dc.format.extent	2706976 bytes	cs
dc.format.mimetype	application/zip	cs
dc.language.iso	cs
dc.publisher	Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně
dc.rights	Bez omezení
dc.subject	AFM	cs
dc.subject	SMM	cs
dc.subject	P-N přechod	cs
dc.subject	křemíkové desky	cs
dc.subject	AFM	en
dc.subject	SMM	en
dc.subject	P-N junction	en
dc.subject	silicon wafer	en
dc.title	Analýza výrobních technologií v polovodičovém průmyslu	cs
dc.title.alternative	An Analysis of Production Technology in the Semiconductor Industry<br>	en
dc.type	diplomová práce	cs
dc.contributor.referee	Špetík, Radim
dc.date.accepted	2013-06-25
dc.description.abstract-translated	This Diploma thesis describes AFM, SMM microscopy, their function and competitive microscopy SEM. In this work are illustrations and analysis of silicon wafers, which are supplied by the company ON Semiconductor. This work deals with the dopant concentrations and compares the results with competing methods of measurement.	en
dc.description.department	Ústav automatizace a řídicí techniky	cs
dc.description.result	obhájeno	cs
dc.parent.uri	http://hdl.handle.net/10563/91	cs
dc.parent.uri	http://hdl.handle.net/10563/220	cs
dc.thesis.degree-discipline	Automatické řízení a informatika	cs
dc.thesis.degree-discipline	Automatic Control and Informatics	en
dc.thesis.degree-grantor	Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta aplikované informatiky	cs
dc.thesis.degree-grantor	Tomas Bata University in Zlín. Faculty of Applied Informatics	en
dc.thesis.degree-name	Ing.	cs
dc.thesis.degree-program	Inženýrská informatika	cs
dc.thesis.degree-program	Engineering Informatics	en
dc.identifier.stag	31588
utb.result.grade	A
dc.date.submitted	2013-06-11
local.subject	mikroskopie	cs
local.subject	microscopy	en