Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie

DSpace Repository

Language: English čeština 

Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie

Show full item record

No preview available
Title: Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie
Author: Navrátil, Jaroslav
Advisor: Urbánek, Michal
Abstract: Tato práce se zaměřuje na techniku elektronové litografie a přípravu struktur v polymerním rezistu PMMA pomocí expozice elektronovým svazkem. Pozornost je věnována procesu vyvolávání rezistu a vyhodnocení struktur pomocí optického mikroskopu, mechanického profilemetru a mikroskopu atomárních sil (AFM).
URI: http://hdl.handle.net/10563/49042
Date: 2020-02-03
Availability: Bez omezení
Department: Ústav fyziky a mater. inženýrství
Discipline: Materiálové inženýrství
Grade for thesis and defense: A 55935


Citace závěřečné práce

Files in this item

Files Size Format View Description
navrátil_2020_dp.pdf 3.666Mb PDF View/Open None
navrátil_2020_op.docx 89.55Kb Unknown View/Open None
navrátil_2020_vp.docx 88.17Kb Unknown View/Open None

This item appears in the following Collection(s)

Show full item record

Find fulltext

Search DSpace


Browse

My Account