Zobrazování polovodičových struktur užitím mikroskopie atomárních sil
Zobrazit celý záznam
Není dostupný náhled
Název:
|
Zobrazování polovodičových struktur užitím mikroskopie atomárních sil |
Autor: |
Kudělka, Josef
|
Vedoucí: |
Navrátil, Milan
|
Abstrakt:
|
Tato diplomová práce se zabývá principy zobrazování povrchů a měřením elektromagnetických vlastností vzorků pomocí metod vycházejících z mikroskopie atomárních sil (AFM). Největší důraz je kladen na studium polovodičových struktur s využitím kontaktního módu mikroskopie atomárních sil a skenovací mikrovlnné mikroskopie (SMM). K měření je použit mikroskopický systém Agilent 5420 SPM, který je v této práci rovněž popsán. |
URI:
|
http://hdl.handle.net/10563/25506
|
Datum:
|
2013-02-08 |
Dostupnost:
|
Bez omezení |
Ústav:
|
Ústav elektroniky a měření |
Klasifikace závěřečné práce a její obhajoby:
|
A
31283
|
Citace závěřečné práce
Soubory tohoto záznamu
Tento záznam se objevuje v následujících kolekcích
Zobrazit celý záznam
Prohledat DSpace
Procházet
-
Vše v DSpace
-
Tato kolekce
Můj účet