Polymerní rezisty pro zápis elektronovým svazkem

DSpace Repository

Language: English čeština 

Polymerní rezisty pro zápis elektronovým svazkem

Show full item record

No preview available
Title: Polymerní rezisty pro zápis elektronovým svazkem
Author: Navrátil, Jaroslav
Advisor: Urbánek, Michal
Abstract: Tato diplomová práce se zaměřuje na techniku elektronové litografie a přípravu mikrostruktur v komerčně dostupných materiálech Sigma Aldrich fotorezist a KMPR 1010 pomocí expozice elektronovým svazkem. Pozornost je věnována procesu vyvolání a nastavení elektronového svazku. Vyhodnocení mikrostruktur probíhá za pomocí optického mikroskopu, mechanického profilometru a skenovacího elektronového mikroskopu (SEM).
URI: http://hdl.handle.net/10563/51261
Date: 2021-12-31
Availability: Bez omezení
Department: Ústav fyziky a mater. inženýrství
Discipline: Materiálové inženýrství


Citace závěřečné práce

Files in this item

Files Size Format View Description
navrátil_2022_dp.pdf 6.645Mb PDF View/Open None
navrátil_2022_op.pdf 243.5Kb PDF View/Open None
navrátil_2022_vp.pdf 579.1Kb PDF View/Open None

This item appears in the following Collection(s)

Show full item record

Find fulltext

Search DSpace


Browse

My Account