Polymerní rezisty pro zápis elektronovým svazkem
Repozitář DSpace/Manakin
- Domovská stránka DSpace
- Kvalifikační práce dle fakult
- Fakulta technologická
- Ústav fyziky a mater. inženýrství
- Diplomové práce
- Zobrazit záznam
Jazyk:
English čeština
Polymerní rezisty pro zápis elektronovým svazkem
Není dostupný náhled
| Název: | Polymerní rezisty pro zápis elektronovým svazkem |
| Autor: | Navrátil, Jaroslav |
| Vedoucí: | Urbánek, Michal |
| Abstrakt: | Tato diplomová práce se zaměřuje na techniku elektronové litografie a přípravu mikrostruktur v komerčně dostupných materiálech Sigma Aldrich fotorezist a KMPR 1010 pomocí expozice elektronovým svazkem. Pozornost je věnována procesu vyvolání a nastavení elektronového svazku. Vyhodnocení mikrostruktur probíhá za pomocí optického mikroskopu, mechanického profilometru a skenovacího elektronového mikroskopu (SEM). |
| URI: | http://hdl.handle.net/10563/51261 |
| Datum: | 2021-12-31 |
| Dostupnost: | Bez omezení |
| Ústav: | Ústav fyziky a mater. inženýrství |
| Studijní obor: | Materiálové inženýrství |
Citace závěřečné práce
Soubory tohoto záznamu
| Soubory | Velikost | Formát | Zobrazit | Popis |
|---|---|---|---|---|
| navrátil_2022_dp.pdf | 6.645Mb |
Zobrazit/ |
None | |
| navrátil_2022_op.pdf | 243.5Kb |
Zobrazit/ |
None | |
| navrátil_2022_vp.pdf | 579.1Kb |
Zobrazit/ |
None |
Tento záznam se objevuje v následujících kolekcích
-
Diplomové práce [171]
