| dc.contributor.advisor |
Navrátil, Milan
|
|
| dc.contributor.author |
Kudělka, Josef
|
|
| dc.date.accessioned |
2013-10-15T14:41:39Z |
|
| dc.date.accessioned |
2013-10-15T17:17:36Z |
|
| dc.date.available |
2013-10-15T14:41:39Z |
|
| dc.date.available |
2013-10-15T17:17:36Z |
|
| dc.date.issued |
2013-02-08 |
|
| dc.identifier |
Elektronický archiv Knihovny UTB |
en |
| dc.identifier.uri |
http://hdl.handle.net/10563/25506
|
|
| dc.description.abstract |
Tato diplomová práce se zabývá principy zobrazování povrchů a měřením elektromagnetických vlastností vzorků pomocí metod vycházejících z mikroskopie atomárních sil (AFM). Největší důraz je kladen na studium polovodičových struktur s využitím kontaktního módu mikroskopie atomárních sil a skenovací mikrovlnné mikroskopie (SMM). K měření je použit mikroskopický systém Agilent 5420 SPM, který je v této práci rovněž popsán. |
en |
| dc.format |
63s |
en |
| dc.format.extent |
8916813 bytes |
en |
| dc.format.mimetype |
application/zip |
en |
| dc.language.iso |
cs |
|
| dc.publisher |
Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně |
|
| dc.rights |
Bez omezení |
|
| dc.subject |
mikroskopie skenující sondou
|
en |
| dc.subject |
SPM
|
en |
| dc.subject |
mikroskopie atomárních sil
|
en |
| dc.subject |
AFM
|
en |
| dc.subject |
skenovací mikrovlnná mikroskopie
|
en |
| dc.subject |
SMM
|
en |
| dc.subject |
scanning probe microscopy
|
en |
| dc.subject |
SPM
|
en |
| dc.subject |
atomic force microscopy
|
en |
| dc.subject |
AFM
|
en |
| dc.subject |
scanning microwave microscopy
|
en |
| dc.subject |
SMM
|
en |
| dc.title |
Zobrazování polovodičových struktur užitím mikroskopie atomárních sil |
en |
| dc.title.alternative |
Projection of Semiconductor Structures Using Atomic Microscopy |
en |
| dc.type |
diplomová práce |
en |
| dc.contributor.referee |
Nosková, Klára |
|
| dc.date.accepted |
2013-06-18 |
|
| dc.description.abstract-translated |
This thesis describes the principles of surface visualisation and measurements of electromagnetic properties of samples using methods based on atomic force microscopy (AFM). The main purpose is the study of semiconductor structures using contact mode atomic force microscopy and scanning microwave microscopy (SMM). These measurements were taken using the microscopy system Agilent 5420 SPM, which is also described in this thesis. |
en |
| dc.description.department |
Ústav elektroniky a měření |
en |
| dc.description.result |
obhájeno |
en |
| dc.parent.uri |
http://hdl.handle.net/10563/153
|
en |
| dc.parent.uri |
http://hdl.handle.net/10563/220
|
en |
| dc.thesis.degree-discipline |
Security Technologies, Systems and Management |
en |
| dc.thesis.degree-discipline |
Bezpečnostní technologie, systémy a management |
en |
| dc.thesis.degree-grantor |
Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta aplikované informatiky |
en |
| dc.thesis.degree-grantor |
Tomas Bata University in Zlín. Faculty of Applied Informatics |
en |
| dc.thesis.degree-name |
Ing. |
en |
| dc.thesis.degree-program |
Inženýrská informatika |
en |
| dc.thesis.degree-program |
Engineering Informatics |
en |
| dc.identifier.stag |
31283
|
|
| utb.result.grade |
A |
|
| dc.date.submitted |
2013-05-29 |
|
